SDI 1531 低噪聲加速度傳感器技術(shù)參數(shù)

1531型是一款表面安裝MEMS直流加速度計(jì)，專為高溫應(yīng)用而設(shè)計(jì)。其性能規(guī)格與SDI 1521型幾乎相同，但進(jìn)一步加入了更高溫度的材料。每個(gè)1531型微機(jī)電系統(tǒng)直流加速度計(jì)都是氮阻尼的、密封的、在氣候室環(huán)境中仔細(xì)測(cè)試的，并經(jīng)過嚴(yán)格的溫度調(diào)節(jié)協(xié)議，以確保其在高達(dá)+175°C的溫度下持續(xù)可靠運(yùn)行。

每個(gè)微型密封封裝結(jié)合了用于直流測(cè)量的MEMS電容式感測(cè)元件和包括感測(cè)放大器和差分輸出的定制集成電路。這種設(shè)計(jì)確保了該裝置對(duì)溫度變化和梯度保持相對(duì)不敏感。每個(gè)包裝都經(jīng)過SDI的單獨(dú)測(cè)試、編程和校準(zhǔn)，并在其頂部和底部表面標(biāo)有序列號(hào)，以便于追溯。此外，每個(gè)單元都有一份可選的校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告（1531-TST），顯示加速度計(jì)的測(cè)量偏差、比例因子、線性度、工作電流和頻率響應(yīng)規(guī)格。