VAT 板閥 02109-CA24-AOZ1技術參數

在所有條件下出色的壓力控制和隔離

61.6高壓控制蝶閥具有 的壓力控制和隔離性能。憑借其快速精確的動作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細控制和隔離的 解決方案。該板起到節流元件的作用，并改變閥門開口的傳導率。61.6的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡可能快地達到設定壓力。



61.6系列隔離功能是專門設計的，以避免蝶閥 的較高密封磨損。由于它偏離了中心板軸，閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦最小化，密封性能提高。



61.6系列已經在各種工藝條件下安裝在數千個苛刻的應用中，證明了其 可靠性。采用堅固的設計和直接安裝選項

可靠的高速保護

現代切斷閥的主要要求是其在任何回流事件中都能可靠、快速地進行緊急隔離。25.7設計用于提供靈敏、高速的隔離功能，可靠地防止回流到工藝室或管道系統中的風險。



25.7 HV快速切斷閥采用流量控制。無任何子系統（傳感器和執行器）的直接操作設計提供了低復雜性和低故障風險的高速隔離。從最初的回流脈沖到 隔離不到10毫秒，25.7 于同類產品。



作為一種安 方案，理想情況下，截止閥應不為系統增加電導屏障。25.7的特殊流量優化設計在這方面樹立了標準，在高電導和快速隔離之間實現了 平衡。



當用于氣流中含有副產品的工藝時，例如前級管線應用，快速沖洗上的任何污染物積聚